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MEMS传感器架构
  • 普渡大学自我校正MEMS提供灵敏的感测能力
    普渡大学的Jason Vaughn Clark要让MEMS传感器再次革新，他声称已经开发出一套结合Electro micro metrology（EMM）的工艺制程，可让传感器进行自我校正，提供更精确的感测能力，这也是业界首个不需要通过外部装置的自我校正MEMS传感器架构。
    08/25