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上海国际招标有限公司关于8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目刻蚀等工艺设备采购

来源:RFID世界网

日期:2017-02-07

摘要：上海国际招标有限公司关于8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目刻蚀等工艺设备采购

　　上海国际招标有限公司受上海新微技术研发中心有限公司委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目刻蚀等工艺设备采购国际招标进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。

　　项目名称：8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目刻蚀等工艺设备采购国际招标

　　项目编号：0705-174015604108

　　项目联系方式：

　　项目联系人：张靖姝

　　项目联系电话：021-62791919-198

　　采购单位联系方式：

　　采购单位：上海新微技术研发中心有限公司

　　地址：上海市嘉定区城北路235号3号楼

　　联系方式：游家杰、周曙华，86-21-69923266×8654、2153

　　代理机构联系方式：

　　代理机构：上海国际招标有限公司

　　代理机构联系人：张靖姝、王晋，86-21-62791919×198、161

　　代理机构地址：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼

　　一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：

品目号	货物名称	简要技术说明	数量	交货期
1	Laser Mark	利用激光在晶圆片上打印编号	1套	2017年6月10日前
2	Wafer Clean(FE)	利用化学品对前段制程的晶圆片进行清洗，支持6管化学品，并具备加热功能	1套	2017年6月10日前
3	Wafer Clean(BE)	利用化学品对后段制程的晶圆片进行清洗，支持6管化学品，并具备加热功能	1套	2017年6月10日前
4	Cassette Clean	清洗承载晶圆片的花篮，Spin Dry	1套	2017年6月10日前
5	Oxide Dry Etch	干法刻蚀氧化硅，需求两个反应腔，可通过链条调节间隙，Unix操作系统	1套	2017年6月10日前
6	ICP刻蚀机	干法刻蚀机台多晶硅，需求两个反应腔，支持12管气体供应，Y2O3 coating kits，Top gas injection，VCI voltage mode	1套	2017年6月10日前
7	Atomic Force Microscope	原子力，Roughness，表面结构量测，自动传送量测功能	1套	2017年6月10日前
8	Surface Particle Scan	对晶圆片上的缺陷进行扫描检测，Resolution >=80nm	1套	2017年6月10日前
9	Stress Measurement	晶圆表面应力量测，自动传送和data记录功能，windows操作系统	1套	2017年6月10日前
10	高束流离子注入机	注入计量1E11~ 6E16 atoms/cm2，注入SDS气体包括硼(B)、二氟化硼(BF2)、磷(P)及砷(As)，注入能量5 ~ 180KeV，Cathode P.S.， Disk Rotary controller direct drive motor type，Plasma shower controller，V-6 Cell controller。	1套	2017年6月10日前

　　二、投标人的资格要求：

　　1) 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织;2) 投标货物可以是全新设备，也可以是翻新后的二手设备，投标人必须在其投标文件中对每项投标货物明确说明(包括生产年份和序列号);3) 投标人及投标货物的制造商/翻新厂商近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉;4) 投标人及投标货物的制造商/翻新厂商应具有履行合同所必须的设备和半导体专业技术能力，且在最近的2年内具有不少于10套本招标文件列表内机台的8寸线工艺设备整机的实际直接供货和装机经验，须提供相应装机数据和客户信息给招标人确认(投标人与客户的交易凭证);5) 投标人在中国境内应设有售后服务团队，能提供本地化的售后服务;6) 投标人若为代理商，须获得并提供投标货物制造商/翻新厂商出具的针对本项目的独家授权书及售后服务授权书;7) 本项目不接受联合体投标;8) 投标人提供的投标货物中自有机台的估价不少于全部投标货物总额的35%，须提供自有机台真实性证明(机台所属证明，down-payment，不接受LOI)，投标人须在招标单位提出要求后的3天内接受招标单位对机台真实性的现场查验。9) 投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的为机电产品国际招标投标活动提供公共服务和行政监督的网上平台(以下简称招标网，网址为：http://www.chinabidding.com)上完成有效注册。

　　三、招标文件的发售时间及地点等：

　　预算金额：5200.0 万元(人民币)

　　时间：2017年02月06日 09:00 至 2017年02月13日 16:00(双休日及法定节假日除外)

　　地点：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼

　　招标文件售价：￥1000.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

　　招标文件获取方式：现场领购

　　四、投标截止时间：2017年02月28日 10:30

　　五、开标时间：2017年02月28日 10:30

　　六、开标地点：

　　中国上海延安西路358号美丽园大厦19楼上海国际招标有限公司会议室

　　七、其它补充事宜

　　1 有兴趣的潜在投标人可从招标机构处得到进一步的信息和查阅招标文件。在查阅和购买招标文件前，潜在投标人须向招标机构提供已签署盖章的《保密承诺》原件一份(签署人非法定代表人的还需提供法定代表人授权书)，否则招标机构将拒绝向其提供相关信息和出售招标文件。

　　2 有兴趣的投标人可从2017年2月6日起至2017年2月13日止，每天(节假日除外)9:00时至16:00时(北京时间)在中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼购买招标文件，在上述规定的招标文件出售截止期之后将不再出售本项目的招标文件。本招标文件每套售价为人民币壹仟元整(RMB 1,000.00)或壹佰伍拾美元(USD 150.00)，售后不退。国内邮购须另加伍拾元人民币(RMB 50.00);国外邮购须另加伍拾美元(USD 50.00)。

　　3 银行账户信息

　　3.1 人民币账户信息

　　1) 开户银行：招商银行股份有限公司上海曹家渡支行

　　2) 户名：上海国际招标有限公司

　　3) 账号：215080920510001

　　3.2 外币账户信息

　　1) Beneficiary: Shanghai International Tendering Co., Ltd.

　　2) Bank: PING AN BANK CO., LTD.

　　3) Swift Code: SZDBCNBS

　　4) Address: FL.2 ANNEXE TO PINGAN BLDG, NO.1333, LUJIAZUI RING RD, PUDONG, SHANGHAI, CHINA

　　5) A/C NO.: 11008342781394(USD)

　　八、采购项目需要落实的政府采购政策：

　　详见招标文件